電子・情報
原子1個分の誤差を保証 世界最小の「ものさし」を実現
独立行政法人産業技術総合研究所、株式会社日立製作所、株式会社日立ハイテクノロジーズ
取材:December 2013 〜 February 2014
2014/02/01
世界が認める画期的・高品質な半導体製造装置 衛星放送用のアンテナをプラズマ励起に応用
東京エレクトロン株式会社/東北大学未来科学技術共同研究センター
取材:December 2010, January 2011
2011/01/01















